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北京晶格領域半導體有限公司
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6英寸低阻高摻p型碳化硅襯底

產品介紹

利用液相法生長的P型碳化硅襯底具有低電阻、高摻雜濃度、高品質等優勢,能滿足n溝道SiC IGBT、GTO等高壓雙極型器件的制備需求

主要指標

晶型:4H/6H     尺寸:149.5~150 mm              

厚度:350±25 μm   微管密度:<0.1 cm-2

電阻率:0.06~0.11 Ω?cm


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